当半导体 CMP 设备碰上陶瓷轴承,这场 “抛光大戏” 稳了!
发布日期:2025-03-27
在半导体制造界,CMP 设备那可是大名鼎鼎的 “抛光大拿”,肩负着让芯片表面光滑如镜的重任。可你们知道吗?CMP 设备之所以能在抛光界 “横着走”,背后有个超牛的小助手 —— 陶瓷轴承。
以往,普通轴承在 CMP 设备里工作,就像在高温、强腐蚀的 “战场” 上裸奔,没一会儿就磨损得不成样子,设备的抛光效果直线下滑,还时不时闹 “罢工”,让工程师们头疼不已。但陶瓷轴承一登场,局势瞬间逆转!
陶瓷轴承硬度超高,就像给 CMP 设备穿上了一身金刚铠甲,在高速运转和强烈摩擦中,根本不怕磨损。就算工作环境温度高得像火焰山,它也能淡定自若,热膨胀系数小得可怜,保证 CMP 设备稳定运行。而且,陶瓷轴承的化学稳定性超强,面对各种腐蚀性抛光液,就像铜墙铁壁,压根不被腐蚀。
自从陶瓷轴承加入,CMP 设备就像打了鸡血,抛光精度和效率蹭蹭往上涨。生产出来的芯片,表面平整得能当镜子照,极大提高了芯片的性能和质量。
可以说,陶瓷轴承和 CMP 设备是天造地设的一对。有了陶瓷轴承,CMP 设备在半导体抛光界 “封神”,带着芯片制造一路 “狂飙” !

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